「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームを起動するには、[分析]>[スクリーニング]>[工程履歴エクスプローラ]を選択します。
図22.3 「工程履歴エクスプローラ」の起動
サンブルテータとして準備されている[Quality Control]>[Lot Wafer History]および[Quality Control]>[Lot Wafer Yield]は、「工程履歴エクスプローラ」で分析できる形式のデータテーブルとなっています。