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公開日: 04/01/2021

「工程履歴エクスプローラ」の例

この例では、2つのデータテーブルを使用しています。一方のデータテーブルは、1ロットあたり25枚であるウェハの50ロットに関する履歴データです。このデータには、複雑な製造工程に関する履歴情報が含まれています。他方のデータテーブルは、ロットごとの各ウェハの歩留まりに関するデータです。

1. [ヘルプ]>[サンプルデータライブラリ]を選択して、[Quality Control]>「Lot Wafer History.jmp」および[Quality Control]>「Lot Wafer Yield.jmp」を開きます。

2. 「Lot Wafer History.jmp」データテーブルから、[分析]>[スクリーニング]>[工程履歴エクスプローラ]を選択します。

3. 「ロット」「ウエハ」を選択し、[ID]をクリックします。

4. 「装置」および「経路」を選択し、[X, 工程]をクリックします。

5. 「層」「処理」を選択して、[段階]をクリックします。

6. 「開始時間」「終了時間」を選択し、[タイムスタンプ]をクリックします。

7. [OK]をクリックします。

対応する歩留まりテーブルを選択できるウィンドウが表示されます。

8. 「Lot Wafer Yield」を選択し、[OK]をクリックします。

歩留まりの列を選択できるウィンドウが表示されます。

9. 「収率」を選択し、[OK]をクリックします。

10. 「工程履歴エクスプローラ」の横にある赤い三角をクリックして、[収率が低い水準]を選択します。

図25.2 「工程履歴エクスプローラ」レポート 

このレポートには、X列の水準、操作数、ステップ数、ユニット数など、工程に関する情報が含まれています。「収率が低い水準」の表には、X列の195水準についての歩留まりが表示されています。装置「PlanarTool008」の歩留まりが最も低いです。なお、この装置では1,000ユニットが処理されています。

より詳細な情報が必要な場合や、質問があるときは、JMPユーザーコミュニティで答えを見つけましょう (community.jmp.com).