［ユニットあたり度数］の例

シリコンウエハーの生産工程で、ウエハー1枚あたりの不適合数の目標値が4以下に設定されているとしましょう。新しい工程がこの目標値を満たしているかどうかを検証します。ウエハー1枚あたりに生じる不適合数が目標値と1だけずれた場合に、有意水準5%において90%の検出力で検出するには、何枚のウエハーを調べればよいのかを求めます。

1. ［実験計画(DOE)］>［計画の診断］>［標本サイズ/検出力］を選択します。

2. ［ユニットあたり度数］をクリックします。

1. 「Alpha」（ウエハー1枚あたりの不適合数がきちんと目標値4になっているのに、「ウエハー1枚あたりの不適合数が4である」という帰無仮説を棄却してしまう確率）は「0.05」のままにしておきます。

2. 「ユニットあたりベースライン度数」として「4」（ウエハー1枚あたりの不適合数の目標値）を入力します。

3. 「検出する差」として「1」を入力します。

4. 「検出力」として「0.9」を入力します。

この検出力は、1より大きい変化、つまりウエハー1枚あたりの不適合数が5個以上になったときに、その差を検出する確率です。このような状況設定では、有意水準（α）が生産者リスク、検出力（β）が消費者リスクと呼ばれることもあります。

5. ［続行］をクリックします。

図17.14 ［ユニットあたり度数］ 

38枚のウエハーをテストしなければならないことがわかります。工程は、38枚全体での不適合数が173（= 38 × 4）を下回っていれば、目標値を満たしているものとみなせます。

メモ: 38枚のウエハーを使えば、ウエハー1枚あたりの不適合数が5つになったときに、高い確率でそれを検出できます。

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