Semiconductor Capability.jmp 样本数据表包含 128 列过程测量值。每个列包含 1,455 个测量值。您想确定哪些过程不稳定。此外,每个列包含“规格限”列属性。若过程稳定,则适合计算过程能力。接下来针对该数据表您要评估过程的稳定性和能力。
1. 选择帮助 > 样本数据库,然后打开 Semiconductor Capability.jmp。
2. 选择分析 > 筛选 > 过程筛选。
3. 选择 Processes 列组并点击过程变量。
请注意将“控制图类型”设置为“单值和 MR”。
4. 点击确定。
图 23.2 初始报表的部分视图
“过程筛选”窗口出现时,显示每个过程的结果表。该表按“稳定性指标”排序。这是过程的稳定性测度,其中稳定过程的稳定性指标接近 1。稳定性指标值越高表示过程越不稳定。(该排序由报表中“稳定性指标”旁边的插入符号表示。)您想更仔细查看稳定性指标值大于等于 1.03 的过程。
5. 在报表窗口中,选择过程 PMS1 到 IVP9。
前 11 个过程在“稳定性指标”列中的值均为 1.03 或更大。
6. 右击选定的过程并选择选定项的快速图形。
图 23.3 最高报警率过程的快速图形
您决定更仔细查看 IVP8(选定项的图形中的第 3 行,第 1 列)。
7. 在“汇总”表中选择第二个过程,它对应于 IVP8。
8. 右击选定的过程并选择选定项的控制图。
图 23.4 IVP8 的“控制图生成器”报表
将显示“控制图生成器”报表。因为 IVP8 有“规格限”列属性,该报表还包含能力分析。