启动“过程历史分析器”平台

通过选择分析 > 筛选 > 过程历史分析器启动“过程历史分析器”平台。

图 26.3 “过程历史分析器”启动 

有关“选择列”红色小三角菜单中选项的详细信息，请参见《使用 JMP》中的“列过滤器”菜单。

启动窗口角色

ID

指定标识过程中的单元的一个或多个列。

注意：ID 列必须在产量表中有对应列。

X，过程

指定一个或多个列，这些列标识构成过程各步的组成部分或特定详细信息。

步骤

可选列，用于指定某个单元经过的步骤或子步骤。例如，层或层内的操作类型。

时间戳

指定操作时间。该时间可指定为单个时间点，或指定为指示操作起止时间的一对时间点。

顺序

可选列，用于指定一批单元经过“X，过程”角色中指定的各个组件的顺序。

依据

为“依据”变量的每个水平生成单独报表。若指定了多个“依据”变量，将为“依据”变量水平的每种可能组合生成单独的报表。

启动窗口选项

目标是最小化 Y

指定分析的目标是将响应最小化。默认情况下，分析的目的是要将响应最大化。

注意：响应是在第二个数据表中指定的，而不是在用于启动平台的数据表中指定的。

数据格式

必须在两个数据表中指定“过程历史分析器”的数据。第一个表用于启动平台并包含过程的步骤和详细信息。第二个表包含 ID 列的每个水平的响应（或产量）。

样本数据表 Quality Control > Lot Wafer History 和 Quality Control > Lot Wafer Yield 提供关于如何在两个数据表中指定数据的示例。