[空間的な指標の計算]オプションを使用するには、データは積み重ねたデータでなければならず、また、座標(X座標とY座標)が含まれている2つの列を[属性のID]に指定する必要があります。いくつかの空間的な指標は、ハフ変換(Hough transform)を用いて計算されます。ハフ変換に関しては、White et al.(2008)およびBallard(1981)を参照してください。分析例については、第 “空間的な指標でウエハーの不適合をクラスタリングする例”を参照してください。
領域をいくつかの四角形に分けたときに、特定の四角形に分布していることを示す指標です。計算に用いる四角形の横と縦の長さを指定してください。「ショット」という用語は、半導体ウエハーで使用されているものです。「ショット」は、複数のダイを含む矩形領域を意味します。