「工程履歴エクスプローラ」の起動

「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームを起動するには、［分析］>［スクリーニング］>［工程履歴エクスプローラ］を選択します。

図26.3 「工程履歴エクスプローラ」の起動 

「列の選択」の赤い三角ボタンのメニューのオプションについては、『JMPの使用法』の列フィルタメニューを参照してください。

起動ウィンドウの役割

ID

工程で処理された各ユニットを識別するための1つ以上の列を指定します。

メモ: このID列に対して、歩留まりのデータテーブルに対応する列がある必要があります。

X, 工程

工程段階を構成する特定の要素（たとえば装置）を識別するための1つ以上の列を指定します。

ステップ

あるユニットが通過する工程段階を指定するための列（オプション指定）。たとえば、半導体製造における層や、各層での工程段階。

タイムスタンプ

操作した時刻（処理した時刻）を指定します。この［タイムスタンプ］には、単一の時刻を指定するか、もしくは操作の開始時刻と終了時刻の2列を指定してください。

順序

複数のユニットから構成されたバッチを指定する。［X, 工程］に指定した工程に、複数のユニットからなるバッチが処理されたときの順序を指定する列（オプション指定）。

By

By変数の水準ごとに個別のレポートが作成されます。複数のBy変数を割り当てた場合、それらのBy変数の水準の組み合わせごとに別々のレポートが作成されます。

起動ウィンドウのオプション

目標はYの最小化

応答を最小化することが目標であることを指定します。デフォルトでは、応答を最大化することが目標になっています。

メモ: 応答変数は、プラットフォームを起動したときに参照されるデータテーブルではなく、2番目のデータテーブルで指定されます。

データ形式

「工程履歴エクスプローラ」では、2つのデータテーブルを指定する必要があります。最初のテーブルはプラットフォームを起動するときに参照されます。このデータテーブルには、各工程の段階と詳細を含めてください。2番目のデータテーブルには、IDの列と、応答変数の列（歩留まりの列）を含めてください。

サンブルテータとして準備されている［Quality Control］>［Lot Wafer History］および［Quality Control］ >［Lot Wafer Yield］は、「工程履歴エクスプローラ」で分析できる形式のデータテーブルとなっています。