工程履歴エクスプローラ

複雑な工程履歴データから問題のある工程を特定する

メモ: 「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームは新しく追加されたプラットフォームであり、評価版の状態です。将来のリリースでは、機能や動作が変更される可能性があります。

半導体工場などの製造工程においては、装置（tool）や経路（route）の組み合わせに問題があると、歩留まりや品質の低下を招く可能性があります。一方で、半導体工場などの複雑な製造工程では、多くの異なる装置があり、何百という工程があります。そのため、歩留まりの低下をもたらす要因の正確な組み合わせを決定することは困難です。

「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームは、すべての工程履歴データを整理し、歩留まりの低下に関連していると思われる要因を特定するためのプラットフォームです。「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームでは、ステップワイズ回帰を実行できます。「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームでは、各ユニットについて装置間における待ち時間も算出できます。待ち時間が歩留まりにどのように関係しているかも確認できます。また、ある装置から別の装置への遷移（transition）が歩留まりに与える影響を分析することもできます。

図26.1 「工程履歴エクスプローラ」レポート 

目次

「工程履歴エクスプローラ」の例

「工程履歴エクスプローラ」の起動

データ形式

「工程履歴エクスプローラ」レポート

「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームのオプション