「工程履歴エクスプローラ」の例
「工程履歴エクスプローラ」を使用して、複雑な製造工程を経たウエハの歩留まりを調べます。
1. ［ヘルプ］>［サンプルデータフォルダ］を選択して、「Quality Control」>「Lot Wafer History.jmp」および「Quality Control」>「Lot Wafer Yield.jmp」を開きます。
「Lot Wafer History.jmp」には、1ロットあたり25枚であるウエハの50ロットに関する履歴データが含まれています。「Lot Wafer Yield.jmp」には、ロットごとの各ウエハの歩留まりに関するデータが含まれています。
2. 「Lot Wafer History.jmp」データテーブルから、［分析］>［スクリーニング］>［工程履歴エクスプローラ］を選択します。
3. 「ロット」と「ウエハ」を選択し、［ID］をクリックします。
4. 「装置」および「経路」を選択し、［X, 工程］をクリックします。
5. 「層」と「処理」を選択して、［ステップ］をクリックします。
6. 「開始時間」と「終了時間」を選択し、［タイムスタンプ］をクリックします。
7. ［OK］をクリックします。
対応する歩留まりテーブルを選択できるウィンドウが表示されます。
8. 「Lot Wafer Yield」を選択し、［OK］をクリックします。
歩留まりの列を選択できるウィンドウが表示されます。
9. 「収率」を選択し、［OK］をクリックします。
10. 「工程履歴エクスプローラ」の横にある赤い三角をクリックして、［収率が低い水準］を選択します。
図27.2 「工程履歴エクスプローラ」レポート
このレポートには、X列の水準数、処理数、ステップ数、ユニット数など、工程に関する情報が含まれています。「収率が低い水準」の表には、X 列の 195 水準についての歩留まりが表示されています。装置「PlanarTool008」の歩留まりが最も低いです。なお、この装置では1,000ユニットが処理されています。