工程履歴エクスプローラ

複雑な工程履歴データから問題のある工程を特定する

「工程履歴エクスプローラ」は、半導体工場での工程など、複雑な製造状況で役立ちます。このような製造工程では、装置（tool）や経路（route）の組み合わせに問題があると、歩留まりや品質の低下を招く可能性があります。また、多くの異なる装置があり、何百という工程があります。そのため、歩留まりの低下をもたらす要因の正確な組み合わせを決定することは困難です。

「工程履歴エクスプローラ」は、すべての工程履歴データを整理し、歩留まりの低下に関連していると思われる要因を特定するためのプラットフォームです。「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームでは、ステップワイズ回帰を実行できます。「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームでは、各ユニットについて装置間における待ち時間も算出できます。待ち時間が歩留まりにどのように関係しているかも確認できます。また、ある装置から別の装置への遷移（transition）が歩留まりに与える影響を分析することもできます。

メモ: 「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームはまだ評価版の状態です。将来のリリースでは、機能や動作が変更される可能性があります。

図27.1 「工程履歴エクスプローラ」レポート 

目次

「工程履歴エクスプローラ」の例

「工程履歴エクスプローラ」の起動

データ形式

「工程履歴エクスプローラ」レポート

「工程履歴エクスプローラ」プラットフォームのオプション