您想确定包含 128 列过程测量值的数据表中有哪些过程不稳定。每列都包含“规格限”列属性。若过程稳定,则适合计算过程能力。
1. 选择帮助 > 样本数据文件夹,然后打开 Semiconductor Capability.jmp。
2. 选择列 > 列查看器。
3. 选择过程列组并点击显示汇总。
这样您就可以快速查看所有过程列的汇总统计量。若您滚动浏览“汇总统计量”表,有些列的最小值和最大值相同,这表明该列包含常数条目。您不想在分析中包含这些列。
4. 在“汇总统计量”表中,取消选择 VPM1、VPM2、PMS1、SNM1、PNP6、VPM4、VPM6、VPM9、P1 和 M1。“汇总统计量”表中选定的列与数据表中选定的列相对应。
提示:要取消选择这些列,请按 Ctrl 键并点击表中列名。
5. 在数据表中,选择分析 > 质量和过程 > 过程筛选。
6. 点击过程变量。这会将数据表中已选定的列指定为过程变量。
请注意将“控制图类型”设置为“单值和 MR”。
7. 点击确定。
图 8.2 初始报表的部分视图
“过程筛选”窗口出现时,显示每个过程的结果表。该表按“稳定性指标”排序。这是过程的稳定性测度,其中稳定过程的稳定性指标接近 1。稳定性指标值越高表示过程越不稳定。(该排序由报表中“稳定性指标”旁边的插入符号表示。)您想更仔细查看稳定性指标值大于等于 1.03 的过程。
8. 在报表窗口中,选择过程 IVP8 一直到 IVP9。
前 10 个过程在“稳定性指标”列中的值均为 1.03 或更大。
9. 右击选定的过程并选择为选定的项显示图表。
图 8.3 最高报警率过程的图表
您决定更仔细查看 IVP8(“为选定项显示的图表”中的第 1 行,第 1 列)。
10. 在“汇总”表中选择第一个过程,它对应于 IVP8。
11. 右击选定的过程并选择选定项的控制图。
图 8.4 IVP8 的“控制图生成器”报表
将显示“控制图生成器”报表。因为 IVP8 有“规格限”列属性,该报表还包含能力分析。