过程历史分析器

标识复杂过程历史中的问题成分

“过程历史分析器”在复杂的生产情形中很有用，比如：在半导体工厂中，有缺陷的工具或路线组合可能导致良率不足或质量下降。某个单元经历的整个生产过程中可能会涉及到成百上千的步骤，并使用许多不同的工具。所以很难确定导致良率不足的确切因素组合。

“过程历史分析器”将所有生产跟踪数据组织起来，并支持您标识看起来与良率不高有关的因素。您可以随后执行逐步回归。可以分析某个单元在过程各个步骤或工具之间等待的时间，以便查看等待时间如何与产量相关。您还可以分析从一个工具转换到另一个工具对良率的影响。

注意：“过程历史分析器”平台是试用平台。在将来的发行版本中会随时变化。

图 27.1 “过程历史分析器”报表 

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过程历史分析器的示例

启动“过程历史分析器”平台

数据格式

“过程历史分析器”报表

“过程历史分析器”平台选项