在该示例中，您有晶片的缺陷数据。X 裸片和 Y 裸片列给出裸片的位置，缺陷数则给出每个位置的缺陷数。因为裸片缺陷通常按一定模式发生，您可以使用聚类分析将晶片划分到可能具有同类缺陷模式的组。完成后，您要将每个聚类的缺陷模式可视化。
|
1.
|
|
2.
|
运行“缺陷数”的空间聚类脚本。
|
|
3.
|
点击“层次聚类”红色小三角菜单并选择保存聚类。
|
|
4.
|
返回到 Wafer Stacked.jmp。
|
|
5.
|
选择图形 > 图形生成器。
|
|
6.
|
|
7.
|
并点击“点图”元素 
。|
9.
|
|
10.
|
|
11.
|
。
图 4.31 按每个聚类的缺陷数均值着色的位置
按缺陷数均值为热图着色。
|
12.
|
|
13.
|
为“尺度类型”选择对数。
|
|
14.
|
点击确定。
|
|
15.
|
（可选）点击完成。
|
图 4.32 晶片聚类的热图
