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过程历史分析器的示例
本例使用两个数据表。第一个数据表包含经历了复杂生产过程的 50 个批次中 25 个晶片的分步历史记录。第二个数据表包含每批中每个晶片的产量。
1.
选择帮助 > 样本数据库，然后打开质量控制 > Lot Wafer History.jmp 和质量控制 > Lot Wafer Yield.jmp。
2.
从 Lot Wafer History.jmp 数据表中，选择分析 > 筛选 > 过程历史分析器。
3.
选择批和晶片，然后点击 ID。
4.
选择工具和路线，然后点击 X，过程。
5.
选择层和操作，然后点击步骤。
6.
选择开始时间和停止时间，然后点击时间戳。
7.
点击确定。
随即显示一个窗口，支持您选择相应的产量表。
8.
选择 Lot Wafer Yield，然后点击确定。
随即显示一个窗口，支持您选择产量列。
9.
选择产量并点击确定。
10.
点击“过程历史分析器”红色小三角并选择具有最低产量的水平。
图 22.2 “过程历史分析器”报表
该报表包含有关过程的信息，其中包括 X 列中的单元、步骤、操作和水平的数目。“具有最低产量的水平”表包含关于 X 列中 195 个水平的计数和产量信息。请注意，PlanarTool008 工具具有最低产量，有 1,000 个单元使用了该工具。