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启动“过程历史分析器”平台
通过选择分析 > 筛选 > 过程历史分析器启动“过程历史分析器”平台。
图 22.3 “过程历史分析器”启动
启动窗口角色
ID
指定标识过程中的单元的一个或多个列。
注意：ID 列必须在产量表中有对应列。
X，过程
指定一个或多个列，这些列标识构成过程各步的组成部分或特定详细信息。
步骤
可选列，用于指定某个单元经过的步骤或子步骤。例如，层或层内的操作类型。
时间戳
指定操作时间。该时间可指定为单个时间点，或指定为指示操作起止时间的一对时间点。
顺序
可选列，用于指定一批单元经过“X，过程”角色中指定的各个组件的顺序。
依据
为依据变量的每个水平生成单独的报表。若指定了多个依据变量，将为依据变量水平的每种可能组合生成单独的报表。
启动窗口选项
目标是最小化 Y
指定分析的目标是将响应最小化。默认情况下，分析的目的是要将响应最大化。
注意：响应是在第二个数据表中指定的，而不是在用于启动平台的数据表中指定的。
数据格式
必须在两个数据表中指定“过程历史分析器”的数据。第一个表用于启动平台并包含过程的步骤和详细信息。第二个表包含 ID 列的每个水平的响应（或产量）。
样本数据表质量控制 > Lot Wafer History 和质量控制 > Lot Wafer Yield 提供关于如何在两个数据表中指定数据的示例。