メモ: ここでは、NIST(米国国立標準技術研究所)のオンラインマニュアルの例を使用します。NISTのマニュアルは、http://www.itl.nist.gov/div898/handbook/prc/section2/prc232.htmで入手できます。
あるシリコンウエハーのロットにおける抵抗率の分散は、公称値が100Ω平方cmです。ある顧客は、納品されるロットの分散を155Ω平方cm以下に抑えることを要求しています。55Ω平方cmだけずれたときに、目標値である100Ω平方cmに対する検定が高い確率で有意になるには、何個のウエハーをテストしなければならないでしょうか。仮説の標準偏差(σ0)は10(100の平方根)、対立仮説での標準偏差は12.4499(100 + 55 = 155の平方根)です。つまり、「検出する差」は12.4499 - 10 = 2.4499です。検出力は0.99、有意水準は0.05とします。
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[1標本標準偏差]をクリックします。
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「Alpha」はデフォルトの「0.05」のままにしておきます。
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「帰無仮説の標準偏差」として「10」を入力します。
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「対立仮説の方向」で[大きい]を選択します。
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「検出する差」として「2.4499」を入力します。
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「標本サイズ」は空白にします。
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「検出力」として「0.99」を入力します。
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9.
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[続行]をクリックします。
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図17.11 [1標本標準偏差]